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工廠設施
| 真空 | Max 2mmHg |
| 加熱 | 蒸汽: +180 導熱油：+250℃ |
| 冷卻 | 冷凍水 ： -20 液氮: -78℃(低溫反應) |
| 惰性氣體 | 制氮機: 400NM3/h |
| 水 | 純化水 |
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